د لیتوګرافي ماشین ماسک الینر د عکس ایچ کولو ماشین

مشخصات

1. د افشا کولو ساحه: 110mm × 110mm；
2. ★ Exposure wavelength: 365nm;
3. قرارداد: ≤ 1m؛
4. د سمون دقت: 0.8m؛
5. د سمون سیسټم د سکین کولو میز د حرکت حد باید لږترلږه پوره شي: Y: 10mm؛
6. د الینمینټ سیسټم کیڼ او ښي رڼا ټیوبونه په جلا توګه د X، y او Z لارښوونو کې حرکت کولی شي، X سمت: ± 5mm، Y سمت: ± 5mm او Z سمت: ± 5mm؛
7. د ماسک اندازه: 2.5 انچه، 3 انچه، 4 انچه، 5 انچه؛
8. د نمونې اندازه: ټوټه، 2 "، 3"، 4 "؛
9. ★ د نمونې ضخامت لپاره مناسب: 0.5-6mm، او کولی شي د 20mm نمونې ټوټو ملاتړ وکړي په ډیره اندازه (مطابق)؛
10. د افشا کولو حالت: وخت (د شمېرنې حالت)؛
11. د روښنايي غیر یووالي: 2.5٪؛
12. د دوه ګوني ساحې CCD الائنمنٹ مایکروسکوپ: د زوم لینز (1-5 ځله) + د مایکروسکوپ هدف لینز؛
13. د نمونې په پرتله د ماسک حرکت سټروک باید لږترلږه پوره شي: X: 5mm؛Y: 5mm;: 6º
14. ★ د افشا کولو انرژي کثافت:> 30MW/cm2،
15. ★ په دوه سټیشنونو کې د سمون موقعیت او د افشا کولو موقعیت کار کوي، او دوه سټیشن سروو موټور په اوتومات ډول بدلیږي؛
16. د تماس فشار کچه کول د سینسر له لارې د تکرار وړتیا تضمینوي.
17. ★ د سمون تشه او د افشا کولو تشه په ډیجیټل ډول تنظیم کیدی شي.
18. ★ دا د نانو امپرینټ انٹرفیس او د نږدې کیدو انٹرفیس لري؛
19. ★ د ټچ سکرین عملیات؛
20. ټول اړخونه: شاوخوا 1400mm (اوږدوالی) 900mm (چړوالی) 1500mm (لوړوالی).