د لیتوګرافۍ ماشین ماسک الاینر د عکس ایچ کولو ماشین

د ځانګړتیاوو

۱. د څرګندیدو ساحه: ۱۱۰ ملي متره × ۱۱۰ ملي متره؛
۲. ★ د مخ په وړاندې څپې اوږدوالی: ۳۶۵ نانومیټر؛
۳. ریزولوشن: ≤ ۱ متره؛
4. د سمون دقت: 0.8m؛
۵. د سمون سیسټم د سکین کولو میز د حرکت حد باید لږترلږه پوره کړي: Y: ۱۰ ملي میتر؛
۶. د سمون سیسټم کیڼ او ښي رڼا ټیوبونه کولی شي په جلا توګه په X، y او Z لارښوونو کې حرکت وکړي، X لوري: ± 5mm، Y لوري: ± 5mm او Z لوري: ± 5mm؛
۷. د ماسک اندازه: ۲.۵ انچه، ۳ انچه، ۴ انچه، ۵ انچه؛
۸. د نمونې اندازه: ټوټه، ۲ "، ۳"، ۴ "؛
۹. ★ د نمونې ضخامت لپاره مناسب: ۰.۵-۶ ملي متره، او کولی شي د ۲۰ ملي متره نمونې ټوټې په اعظمي توګه ملاتړ وکړي (تخصیص شوی)؛
۱۰. د څرګندیدو حالت: وخت (د شمېرنې حالت)؛
۱۱. د رڼا نه یو شان والی: ＜ ۲.۵٪؛
۱۲. د دوه ګوني ساحې سي سي ډي سمون مایکروسکوپ: د زوم لینز (۱-۵ ځله) + د مایکروسکوپ هدف لینز؛
۱۳. د نمونې په پرتله د ماسک د حرکت سټروک باید لږ تر لږه سره مل وي: X: ۵ ملي متره؛ Y: ۵ ملي متره؛ : ۶º؛
۱۴. ★ د انرژۍ کثافت څرګندول: > ۳۰ میګاواټه / سانتي متره ۲،
۱۵. ★ د سمون موقعیت او د څرګندیدو موقعیت په دوو سټیشنونو کې کار کوي، او د دوو سټیشنونو سرو موټورونه په اتوماتيک ډول بدلیږي؛
۱۶. د تماس فشار برابرول د سینسر له لارې د تکرار وړتیا تضمینوي؛
۱۷. ★ د سمون تشه او د څرګندیدو تشه په ډیجیټل ډول تنظیم کیدی شي؛
۱۸. ★ دا د نانو امپرنټ انٹرفیس او پراکسیمیټ انٹرفیس لري؛
۱۹. ★ د ټچ سکرین عملیات؛
۲۰. ټولیز ابعاد: شاوخوا ۱۴۰۰ ملي متره (اوږدوالی) ۹۰۰ ملي متره (پلورل) ۱۵۰۰ ملي متره (لوړوالی).